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案例背景
由于半導(dǎo)體器件的微小化趨勢(shì),晶片層疊工藝精度的日益提高。為了提升制造質(zhì)量,晶片定位標(biāo)記的準(zhǔn)確對(duì)準(zhǔn)變得極為重要。對(duì)此,SWIR波段的光因其可穿透硅層的特性,在晶圓缺陷檢測(cè)和對(duì)準(zhǔn)中廣泛應(yīng)用SWIR光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)。然而,為了實(shí)現(xiàn)高精度的檢測(cè),這些光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)必須具備高透過(guò)率的紅外波段特性。
筒鏡
無(wú)限遠(yuǎn)矯正物鏡的管狀筒鏡也叫Tube鏡頭或簡(jiǎn)稱筒鏡。我們知道,因?yàn)閱为?dú)的無(wú)限遠(yuǎn)顯微物鏡無(wú)法成像,須有一個(gè)無(wú)限遠(yuǎn)矯正的筒鏡搭配使用。對(duì)于分辨能力已經(jīng)處于衍射極限的高端物鏡而言,像差矯正在本身就已經(jīng)處于衍射極限級(jí)別的情況下,此時(shí)只有搭配同樣處于衍射極限級(jí)別的筒鏡才能保證無(wú)損失物鏡的分辨能力。
物鏡
無(wú)限遠(yuǎn)光路物鏡和筒鏡搭配的系統(tǒng)放大倍率采用以下公式:
不同廠家在放大倍率符合的前提下,物鏡和筒鏡的焦距搭配上存在差別。搭配時(shí)需要根據(jù)上述公式確認(rèn)焦距是否能搭配出合適的系統(tǒng)放大倍率。一般情況下,尼康、徠卡和三豐顯微鏡適配采用焦距為200毫米的筒鏡作為標(biāo)準(zhǔn);奧林巴斯顯微鏡適配采用焦距為180毫米的筒鏡作為標(biāo)準(zhǔn);而蔡司顯微鏡則適配采用焦距為165毫米的筒鏡作為標(biāo)準(zhǔn)。
推薦產(chǎn)品
鑒于現(xiàn)階段紅外波段的檢測(cè)中時(shí)有分辨率不足的痛點(diǎn),加之索尼推出imx992 3.45μ芯片及后續(xù)可能相繼推更高級(jí)別更高靶面相機(jī)的考量,茉麗特推出了SOD-200-22C-NSWIR。
相關(guān)配件
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
· 紅外波段超高透過(guò)率
制備高透過(guò)率的紅外光學(xué)元件需要高精度的加工和表面處理工藝,而紅外波段的波長(zhǎng)相對(duì)較長(zhǎng),這使得加工工藝更為復(fù)雜。此外,紅外光學(xué)元件對(duì)表面質(zhì)量和光學(xué)特性的要求也更高。高透過(guò)率的紅外光學(xué)元件可能會(huì)面臨較高的制備成本,同時(shí)在保證光學(xué)性能的前提下需要保證其穩(wěn)定性和可靠性,難度會(huì)更高。
· 物鏡分辨能力無(wú)損失
SOD-200-22C-NSWIR搭配10x物鏡物方分辨率可達(dá)1.3μ,分辨率簡(jiǎn)化式為:
公式中 Res 為最小分辨距離,λ為光線的波長(zhǎng),NA 為物鏡的數(shù)值孔徑。
可見(jiàn)物鏡的分辨率是由物鏡的 NA 值與照明光源的波長(zhǎng)兩個(gè)因素決定。簡(jiǎn)單講,紅外波段下做到相同分辨能力比可見(jiàn)光波段的難度更高。
· 均勻的同軸照明功能覆蓋整個(gè)視野
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