SDC-580半導(dǎo)體晶圓全自動接觸角測量儀

一·概述（Summary）

???? 接觸角（Contact angle）是指在氣、液、固三相交點處所作的氣-液界面的切線，此切線在液體一方的與固-液交界線之間的夾角θ，接觸角測量是現(xiàn)今表面性能檢測的主要方法。
SDC-580半導(dǎo)體晶圓款接觸角測量儀是采用光學(xué)成像的原理，設(shè)備采用圖像輪廓分析方式測量樣品表面接觸角、潤濕性能、表界面張力、前進后退角、表面能等性能，設(shè)備采用全自動進液裝置，性價比高、拓展性強、功能全面、可滿足各種常規(guī)測量需求，目前已經(jīng)廣泛使用在眾多高校院所及企業(yè)。

二·儀器應(yīng)用領(lǐng)域

???? 接觸角測量儀廣泛應(yīng)用于各個行業(yè)領(lǐng)域，在手機制造、玻璃制造、表面處理、材料研究、化學(xué)化工、半導(dǎo)體制造、涂料油墨、電子電路、紡織纖維、醫(yī)療生物等領(lǐng)域，接觸角測量已經(jīng)成為了一項評估表面性能的重要儀器。
（部分測試功能需要選購專門附件完成）
1. 液體在固體表面的鋪展、滲透、吸收等潤濕行為，座滴法測量靜態(tài)接觸角；
2. 材料在固體表面的前進角、后退角、接觸角滯后、滾動角、動態(tài)接觸角測量；
3. 吸收材料的連續(xù)實時研究及過程記錄，接觸角隨時間變化曲線分析；
4. 各種特殊材料的接觸角測量，如粉末、彎曲曲面、超疏水/超親水樣品；
5. 附著滴法測試材料浸沒在液體中的接觸角測試；
6. 懸滴法測量各種液體表界面張力及其極性、色散分量；
7. 計算固體表面自由能（Surface free energy），及其極性色散分量分析；
8. 分析液體在固體表面的粘附功（Adhersion），評估固體表面均勻性、清潔度等。

三·儀器介紹

? SDC-580半導(dǎo)體晶圓接觸角測量儀主要由光源、注射單元、樣品臺、采集系統(tǒng)、分析軟件五大部分組成，設(shè)備采用光學(xué)成像的原理。
1、光源采用密集LED冷光設(shè)計，發(fā)光均勻，圖像清洗，壽命長；
2、注射單元采用高精度注射泵進液，由軟件定量定速控制，滴液穩(wěn)定，精度高達0.01微升；
3、樣品臺采用三維手動精調(diào)平臺，操作靈活，定位準(zhǔn)確，樣品臺可根據(jù)實際樣品尺寸定制；
4、采集系統(tǒng)采用黑白進口CCD相機，拍攝穩(wěn)定，圖像清晰，真實可靠，鏡頭采用德國工業(yè)級進口配置，0.7-4.5倍放大可調(diào)，成像無畸形失真；
5、分析軟件功能強大，具備一鍵式全自動擬合能力，具備國際最領(lǐng)先的擬合方法，滿足各種液滴形態(tài)的精確擬合;

五·產(chǎn)品特點

???? 專業(yè)級的高精度全自動注射系統(tǒng)，最低液滴控制精度可達為 0.1μl
??? 可微調(diào)式 LED 工業(yè)級冷光源系統(tǒng)（壽命 20000H 以上），更清晰的成像，同時 避免額外熱度所導(dǎo)致的小液滴揮發(fā)
???? 采用高性能日本原裝進口工業(yè)機芯，無失真遠心鏡頭，確保最佳的成像效果。
???? 采用 USB2.0 標(biāo)準(zhǔn)接口，數(shù)據(jù)傳輸速度快，兼容性高
???? 高強度航空鋁合金結(jié)構(gòu)，模塊化設(shè)計理念，可配置各種常用測量附件
???? 日本原裝高精度 XYZ 三向運動模組，測試更平穩(wěn)更準(zhǔn)確
???? 自主研發(fā)的集成芯片電路控制，保證儀器以最佳狀態(tài)運行
???? 多種輔助模塊選取，滿足更多的外部測試條件
???? 國內(nèi)首家提供德國進口的接觸角測量校準(zhǔn)樣品，確保測量結(jié)果精確無誤
???? 光學(xué)系統(tǒng)可進行傾斜度調(diào)節(jié)，適合超低角度測量和疏水材料測量

???? 最專業(yè)的接觸角分析方法，更適合多種材料接觸角測量
???? 強大的智能化數(shù)據(jù)庫管理：可錄入多組產(chǎn)品參數(shù)和測量參數(shù)，能隨時查看及 調(diào)取測試，進行一鍵多點測量
???? 軟件自動觸發(fā)攝像和計算，全自動多點測量，更多的避免了人為操作誤差
???? 高速測量計算，更適用于產(chǎn)線或大量測試產(chǎn)品的生產(chǎn)及應(yīng)用，提高工作效率
???? 表面接觸角分析模塊，更簡捷的操作，更準(zhǔn)確的結(jié)果
???? 視頻快速測試數(shù)據(jù)，可連續(xù)性進測試接觸角形態(tài)變化
???? 智能化軟件操作：【自動尋找測試點—自動滴液—自動尋找基準(zhǔn)線—自動擬合 測量】‐‐一鍵控制

六·儀器參數(shù)

接觸角主機
外形尺寸	長835mm，寬330mm，高639mm
重量	約35KG
電源	220V / 60HZ
光源系統(tǒng)
光源	密集LED可調(diào)節(jié)藍色基調(diào)工業(yè)級冷光源
壽命	使用壽命達貳萬伍仟小時以上
注射單元
注射器	專用配套高精密石英注射器、容量500μL
滴液	軟件控制自動進液、補液，最高精度高達0.01μL
注射單元移動	上下50mm;? 左右50mm；Z軸自動送樣測試
采集系統(tǒng)
CCD	SONY原裝進口高速工業(yè)級芯片、30幀/S、130W像素
鏡頭	0.7-4.5倍遠心變倍變焦雙調(diào)節(jié)式顯微鏡
采集系統(tǒng)調(diào)節(jié)	前后50mm（3mm微調(diào)）、視角角度可調(diào)（平視、俯視、仰視、360°旋轉(zhuǎn)等多視角觀察）
樣品臺裝置
工作臺面尺寸	240mm（可定制）
最大樣品尺寸	12寸/8寸/6寸
樣品臺移動	前后移動 手動，行程215mm，導(dǎo)軌快速移動式 旋轉(zhuǎn)角度 360°水平旋轉(zhuǎn)
分析軟件
接觸角測量范圍	0-180°
接觸角測量最高精度	±0.1°
測試分辨率精度	0.001°
表界面張力測量范圍	0-5000mN/m
表界面張力測量精度	0.01 mN/m
分析方法	國內(nèi)最先進的接觸角測量分析軟件自動擬合法（一鍵自動擬合， 不存在人工誤差）包括：圓法擬合（Circle method）、橢圓/斜 ?? 橢圓擬合法（Ellipse/Oblique ellipse）、Young-lapalace擬合、微分橢圓法/微分圓法（Differential circle / Differential ellipse）；
表面自由能	Zisman、OWRK、WU、WU 2、Fowkes、Antonow、Berthelot、EOS、粘附功、浸濕功、鋪展系數(shù)
動態(tài)接觸角擬合	批量截圖擬合、視頻連續(xù)自動擬合、自動在線實時擬合
表/界面張力測試	懸滴法（可實時全自動動態(tài)表面張力測試）
測試液滴狀態(tài)	懸滴法(Pendant Drop)、停滴法(Sessile Drop)（2/3態(tài)）、擄泡法、座滴法、座針法

七·接觸角專業(yè)測量方法

? ?座滴法（sessile drop）;?

? ?懸滴法（pendant drop）; ?
? ?薄膜法（lamella method）; ?

? ?擄泡法（Captive bubble method）; ?
? ?包覆纖維法（wetted fiber）;? ?
?? ?纖維座滴法（sessle fiber drop）;

 

八· 符合國家的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)
??? GB/T 24368‐2009(玻璃表面疏水污染物檢測)
??? SY/T5153‐2007（油藏巖石潤濕性測定方法）
??? ASTM D 724‐99（2003）（紙的表面可濕性的試驗方法）
??? ASTM D5946‐2004（塑料薄膜與水接觸角度的測量）
??? ISO15989（塑料薄膜和薄板電暈處理薄膜的水接觸角度的測量）