| 型號(hào) |
VMZ-S3020 |
VMZ-S4540 |
VMZ-S6555 |
| XYZ量程 |
300×200×200 mm
*TZ型低倍物鏡: 250×200×200 mm |
450x400x200 mm
*TZ型低倍物鏡: 400x400x200mm |
650x550x200 mm
*TZ型低倍物鏡: 600x550x200mm |
| 最小讀數(shù) |
0.01 μm |
| 最大載重量 |
20 kg (精度保證: 5 kg) |
40 kg (精度保證: 20 kg) |
50 kg (精度保證: 30 kg) |
| 最大允許誤差(L: 長(zhǎng)度mm) |
EUX, MPE EUY, MPE 1.2 + 4L / 1000 μm
EUXY, MPE 2.0 + 4L / 1000 μm
EUZ, MPE1.2 + 5L / 1000 μm |
測(cè)頭誤差 1),2): MPE PF2D 0.8 μm
畫(huà)面內(nèi)測(cè)量誤差 1),2): MPE PFV2D 0.3 μm |
| 相機(jī) |
黑白 / 彩色 1/3 CMOS Camera |
| 鏡頭工作距離 |
Type 1, 2, 3: 50mm
Type 4: 30mm
Type TZ: (高倍物鏡) 11 mm / (低倍物鏡) 32 mm
Type A: 73.5 mm (帶激光63 mm) |
| 激光對(duì)焦再現(xiàn)性 1),3) |
2σ ≦ 0.5 μm |
| 光源 |
反射, 透射, 3層8方向白色LED環(huán)光/Type 4 僅1層
Type TZ: 左物鏡: 反射, 暗場(chǎng) ; 右物鏡: 反射, 透射, 暗場(chǎng)
Type A: 反射, 透射, 單層8方向白色LED環(huán)光 |
| 電源，功耗 |
AC100 V-240 V, 50/60 Hz / 4 A ? 2 A |
| 外型尺寸 & 重量 |
主機(jī)帶底座 (W×D×H): 700×730×1793 mm / 約 265 kg
控制箱: 190×450×450 mm / 約 12 kg |
主機(jī)帶底座 (W×D×H): 1000×1340×1818 mm / 約 510 kg
控制箱: 190×450×450 mm / 約 12 kg |
主機(jī)帶底座(W×D×H): 1200×1640×1818 mm / 約 740 kg
控制箱: 190×450×450 mm / 約 12 kg |
| 占地大小 (W×D)?4) |
2700×2400 mm
|
3000×3000 mm
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3200×3300 mm |
