高可靠性

VMZ-NWL200 可以自動(dòng)且穩(wěn)定地執(zhí)行測(cè)量，因此消除了由于操作員對(duì)讀數(shù)的不同解釋而導(dǎo)致的結(jié)果易變性。 此外，Nikon 充分利用其作為光學(xué)設(shè)備制造商的優(yōu)勢(shì)，以提供清晰的圖像，從而準(zhǔn)確地檢測(cè)被檢查對(duì)象的邊緣。

高效率

只需點(diǎn)擊一次，即可開(kāi)始使用 VMZ-NWL200 執(zhí)行檢查。而且，測(cè)量效率是工業(yè)測(cè)量顯微鏡的三倍。該影像測(cè)量系統(tǒng)的效率高，可幫助實(shí)現(xiàn)低 COO（使用成本）。

高可操作性

由于晶圓圖形顯示在 GUI 上，操作員只需用鼠標(biāo)點(diǎn)擊相應(yīng)的點(diǎn)即可指定要測(cè)量的芯片。

自動(dòng)測(cè)量晶圓

完全自動(dòng)且安全地檢查載具中裝載的6英寸或8英寸晶圓。

高可靠性

易于創(chuàng)建、運(yùn)行和存儲(chǔ)穩(wěn)健性高的檢測(cè)程序，并使其具有完整的可追溯性。

提高良品率

滿(mǎn)足半導(dǎo)體行業(yè)中“質(zhì)量 4.0”的要求。

設(shè)備

影像測(cè)量系統(tǒng)：NEXIV（VMZ-S3020 Type2、Type3、TypeTZ）

加載器：NWL200

晶圓 *1

尺寸：6、8 英寸（SEMI/JEIDA 標(biāo)準(zhǔn)）

兼容的載具

6 英寸：PA182-60MB-06XX (Entegris)

8 英寸：PA192-80M-06XX (Entegris)

產(chǎn)量 *2

6 分 45 秒

最低 L/S

500 線(xiàn)/毫米

工作環(huán)境溫度

19～26℃

工作環(huán)境濕度

相對(duì)濕度小于 70%

尺寸

4125 x 3040 mm

電源電壓

AC100-120V/200-240V

電源頻率

50Hz/60Hz

電流消耗

7.5A/3.7A

*1. 銷(xiāo)售前需進(jìn)行晶圓傳輸評(píng)估
*2. 25 片晶圓的傳輸時(shí)間，不包括測(cè)量時(shí)間