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NEXIV VMZ-H系列高精度影像測(cè)量?jī)x
高精度、高速度、方便易用的
微米級(jí)坐標(biāo)測(cè)量
NEXIX VMZ-H3030達(dá)到NEXIV系列中的最高精度，兼具高度的易用性和高性能。
VMZ-H3030以高精度為核心
VMZ-H3030提供300mm x 300mm x 150mm（X，Y，Z）機(jī)型，以及一系列高質(zhì)量的光學(xué)器件，標(biāo)配有TTL（通過(guò)鏡頭的）掃描激光器。該系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于提供極高精度測(cè)量。
VHZ-H 為 NEXIV系列的最高精度,由于其獨(dú)家的設(shè)計(jì)和結(jié)構(gòu)，VMZ-H達(dá)到了NEXIV系列中的最高精度。
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5種光學(xué)變焦系統(tǒng)
有5種類型可供選擇，以滿足不同的視場(chǎng)和分辨率要求。 |
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快速高度測(cè)量
高精度、高速高度測(cè)量通過(guò)高精度透鏡激光自動(dòng)對(duì)焦實(shí)現(xiàn)，能夠以每秒1000點(diǎn)的速度進(jìn)行高速掃描。 |
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測(cè)量困難樣本的能力
利用尼康獨(dú)家的照明配件，可以輕松測(cè)量難測(cè)的邊緣和特征。 |
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不間斷自動(dòng)測(cè)量
即使部件定位發(fā)生變化，也可以實(shí)現(xiàn)精確測(cè)量。 |
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請(qǐng)聯(lián)系當(dāng)?shù)劁N售025-85334943
| 型號(hào) |
VMZ-H3030 |
XYZ 量程 |
300x300x150 mm |
最小讀數(shù) |
0.01 μm |
最大載重量 |
30 kg (精度保證: 10 kg) |
最大允許誤差
(20 kg以下) |
EUX,MPE EUY,MPE: 0.6+2L /1000 μm
EUXY,MPE: 0.9+3L /1000 μm
EUZ,MPE: 0.9+L /150 μm |
精度保證溫度 |
20 °C ± 0.5 K |
最大驅(qū)動(dòng)速度 XY, Z |
100 mm/s , 50 mm/s |
最小驅(qū)動(dòng)速度 XY, Z |
0.01 mm/s , 0.001 mm/s |
相機(jī) |
VGA 1/3“ 黑白, 彩色 *彩色相機(jī)為選配，僅適用于 Type 1, 2 和 3. |
工作距離 |
Type 1, 2, 3: 50 mm (使用75度外環(huán)光時(shí)僅10 mm) /
Type 4: 30 mm
Type TZ: 31 mm (低倍物鏡), 11 mm (高倍物鏡) |
自動(dòng)對(duì)焦 |
影像, 激光 |
電源 |
AC 100 - 240 V ± 10% 50/60 Hz |
功耗 |
5A - 2.5 A |
外型尺寸 (WxDxH) 和 重量 |
主機(jī)帶底座: 1000 x 1125 x 1750 mm / 約 500 kg
控制箱: 190 x 450 x 440 mm / 約 15 kg |
占地大小 (WxD) |
3000×2800 mm |
光源 |
Type 1, 2, 3 和 4 |
全白色LED反射, 透射, 3層8方向環(huán)光/Type 4 僅1層 |
Type TZ |
反射, 透射, 暗場(chǎng) |
電源 |
AC 100 - 240 V ± 10% 50/60 Hz |
功耗 |
5 A - 2.5 A |
光學(xué)系統(tǒng) |
光學(xué)倍率 |
視野大小 |
主要應(yīng)用 |
Type 1 |
0.5X - 7.5X |
9.33×7.01~0.622×0.467 mm |
模具, 機(jī)械零件 (家電, 汽車), PCB, 電子零件 |
Type 2 |
1X - 15X |
4.67×3.5~0.311×0.233 mm |
Type 3 |
2X - 30X |
2.33×1.75~0.155×0.117 mm |
電子零件 |
Type 4 |
4X - 60X |
1.165×0.875~0.078×0.058 mm |
高密度封裝基板 (線寬，間距，高度) |
Type TZ |
1X - 120X |
4.67×3.5~0.039×0.029 mm |
晶圓 (WLP, bump 高, 重布線模板, MEMS模板) |
*5 種光學(xué)系統(tǒng)可供選擇.
* Type 1, 2, 3 提供低失真的清晰圖像和大視野，
*Type 4 和 TZ 提供高倍率。
*5種光學(xué)系統(tǒng)應(yīng)對(duì)不同的視野范圍和倍率大小。
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