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主機規(guī)格:
型號 |
OLS5000-SAF |
OLS5000-SMF |
OLS5000-LAF |
OLS5000-EAF |
OLS5000-EMF |
總倍率 |
54x - 17,280x |
視場直徑 |
16 μm - 5,120 μm |
測量原理 |
光學系統(tǒng) |
反射式共焦激光掃描激光顯微鏡
反射式共焦激光掃描激光-DIC 顯微鏡
彩色
彩色DIC |
光接收元件 |
激光:光電倍增管(2ch)
色彩:CMOS 彩色相機 |
高度測量 |
顯示分辨率 |
0.5 納米 |
動態(tài)范圍 |
16 位 |
可重復性 n-1 *1 *2 *6 |
20x : 0.03 μm, 50x : 0.012 μm, 100x : 0.012 μm |
精度 *1 *3 *6 |
測量值 +/- 1.5% |
拼接圖像精度 *1 *4 *6 |
20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接長度 [μm]) |
測量噪聲(SQ 噪聲)*1 *5 *6 |
1 納米 |
寬度測量 |
顯示分辨率 |
1 納米 |
可重復性 3 n-1 *1 *6 |
20x : 0.05 μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02 μm |
精度 *1 *3 *6 |
測量值 +/- 1.5% |
拼接圖像精度 *1 *3 *6 |
20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接長度 [μm]) |
單次測量時測量點的最大數(shù)量 |
4096 x 4096 像素 |
測量點的最大數(shù)量 |
3600 萬像素 |
XY 載物臺配置 |
長度測量模塊 |
? |
無 |
無 |
? |
無 |
工作范圍 |
100 x 100 mm 電動 |
100 x 100 mm 手動 |
300 x 300 mm 電動 |
100 x 100 mm 電動 |
100 x 100 mm 手動 |
最大樣品高度 |
100 mm |
30 mm |
30 mm |
210 mm |
140 mm |
激光光源 |
波長 |
405 nm |
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最大輸出 |
0.95 mW |
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激光分類 |
2 類 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) |
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彩色光源 |
白光 LED |
電氣功率 |
240 W |
240 W |
278 W |
240 W |
240 W |
質量 |
顯微鏡主體 |
約 31 公斤 |
約 30 公斤 |
約 50 公斤 |
約 43 公斤 |
約 39 公斤 |
控制器 |
約 12 公斤 |

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